Fundamentals of microfabrication

Madou, Marc J.

Fundamentals of microfabrication / Marc Madou. - 1a ed. - Boca Raton, Florida : CRC Press, 1997 - 589 p. : il. ; 29 cm.

Incluye índice

Bibliografía : p. 565-569

0849394511


Microelectrónica
Circuitos integrados --Diseño y construcción
Sistemas microelectromecánicos --Diseño y construcción.

TK7836 / M33 1997