TY - DATA AU - Ballas,Rüdiger G. ED - SpringerLink (Online service) TI - Piezoelectric Multilayer Beam Bending Actuators: Static and Dynamic Behavior and Aspects of Sensor Integration T2 - Microtechnology and Mems, SN - 9783540326427 AV - TK7872.P54 B35 2007 PY - 2007/// CY - Berlin, Heidelberg PB - Springer-Verlag Berlin Heidelberg KW - Dispositivos piezoeléctricos KW - Cerámica piezoeléctrica KW - Actuadores UR - http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-32642-7 ER -