Madou, Marc J. <br/><br/>
Fundamentals of microfabrication  
/ Marc Madou. 
 - 1a ed.  
 - Boca Raton, Florida :  CRC Press,  1997 
 - 589 p. :  il. ;   29 cm. 
<br/><br/> Incluye índice  
<br/><br/>Bibliografía : p. 565-569 
<br/><br/><label>ISBN: </label>0849394511 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Microelectrónica<br/>Circuitos integrados --Diseño y construcción<br/>Sistemas microelectromecánicos --Diseño y construcción.
<br/><br/><label>LC Class. No.: </label>TK7836   / M33 1997