| 000 | 00709nam a22002177a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230327143442.0 | ||
| 008 | 230327b flu||||| |||| 00| 0 eng d | ||
| 020 | _a0849394511 | ||
| 050 | 0 | 4 |
_aTK7836 _bM33 1997 |
| 100 | 1 | _aMadou, Marc J. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aFundamentals of microfabrication _c/ Marc Madou. |
| 250 | _a1a ed. | ||
| 260 |
_aBoca Raton, Florida : _bCRC Press, _c1997 |
||
| 300 |
_a589 p. : _bil. ; _c29 cm. |
||
| 500 | _aIncluye índice | ||
| 504 | _aBibliografía : p. 565-569 | ||
| 650 | 7 |
_aMicroelectrónica _2lemb |
|
| 650 | 7 |
_aCircuitos integrados _xDiseño y construcción _2lemb |
|
| 650 | 7 |
_aSistemas microelectromecánicos _xDiseño y construcción. _2lemb |
|
| 942 |
_2lcc _cLIB |
||
| 999 |
_c72376 _d72376 |
||