TY  - DATA
AU  - Depla,Diederik
AU  - Mahieu,Stijn
ED  - SpringerLink (Online service)
TI  - Reactive Sputter Deposition
T2  - Springer Series in Materials Science,
SN  - 9783540766643
AV  - TS695 D47 2008
PY  - 2008///
CY  - Berlin, Heidelberg
PB  - Springer Berlin Heidelberg
KW  - Deposición catódica (Proceso galvanoplastia)
KW  - Películas delgadas
UR  - http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-76664-3
ER  -