TY  - BOOK
AU  - Steigerwald,Joseph M.
AU  - Murarka,Shyam P.coaut
AU  - Gutmann,Ronald J.coaut
TI  - Chemical mechanical planarization of microelectronic materials :
SN  - 0471138274
PY  - 1997///
CY  - New York : 
PB  - John Wiley, 
KW  - Microelectronica
KW  - Materiales
N1  - Incluye índice
ER  -